品名	英文名	分子式	級別
			SL	UL	VL(CMOS)	EL
過氧化氫	Hydrogen Peroxide,30%	H2O2	■	■	■	■
硫酸	Sulfuric Acid	H2SO4	■	■	■	■
鹽酸	Hydrochloric Acid	HCL	■	■	■	■
硝酸	Nitric Acid,70%	HNO3	■	■	■	■
發煙硝酸	Nitric Acid Fuming	HNO3			■	■
磷酸	Phosphoric Acid	H3PO4	■	■	■	■
氫氟酸	Hydrofluoric Acid	HF		■	■	■
冰乙酸	Acetic Acid,Glacial	CH3COOH	■	■	■	■
氨水	Ammonium Hydroxide	NH3·H2O	■	■	■	■
氟化銨	Ammonium Fluoride,40%	NH4F	■	■	■	■
氫氧化鉀溶液	Potassium Hydroxide Liquid	KOH				■
C-400膽堿清洗劑	Choline Hydroxide	C5H15NO2		■	■	■
氫氧化鈉溶液	Sodium Hydroxide Liquid	NaOH				■

● EL級：優于美國SEME C1標準，控制1μm顆粒，控制十多個金屬元素，單項金屬元素控制在100PPb。
● VL級：介于EL與UL之間，控制0.5μm顆粒，控制三十多個金屬元素，單項金屬元素控制在10~100PPb。
● UL級：等同于美國SEME C7標準，控制0.5、0.3μm顆粒，控制三十多個金屬元素，單項金屬元素控制在10PPb以下。
● SL級：等同于美國SEME C8標準，控制0.3μm顆粒，控制三十多個金屬元素，單項金屬元素控制在1PPb以下。